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半導(dǎo)體金相顯微鏡
12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡

產(chǎn)品型號:MX12R
發(fā)布時(shí)間:2018-6-8 16:43:30
訪問次數(shù):1067 次

半導(dǎo)體金相顯微鏡-12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡介紹

全新的12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡,支持≤300mm 晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)提升,為用戶提供更加靈活、快捷的操作體驗(yàn)。

為用戶提供高效的半導(dǎo)體\FPD 光學(xué)檢測解決方案

仰角可調(diào)觀察筒

0-35°觀察角度可調(diào),適合不同身高的用戶,降低了對工作環(huán)境的要求,讓不同的使用者都能找到上佳的觀察角度,減輕了長時(shí)間工作帶來的不適與疲勞,大幅度提高工作效率。

全新離合驅(qū)動式載物臺

MX12R 采用離合式手柄,用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺,無需長時(shí)間捏緊手柄;按下離合按鈕,取消快速移動。避免長時(shí)間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象,并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導(dǎo)軌傳動機(jī)構(gòu),移動更輕更順暢,產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。

安全、高速的電動式物鏡轉(zhuǎn)換器

設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式,可快速、精確定位到所需要的觀察倍率,重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式,有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。

按鍵觸手可及,助您提高工作效率

MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng),其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及。人性化的電動設(shè)計(jì)不僅避免了頻繁的手動操作步驟,也使您的檢測工作也更加精確、靈活。

防震支架設(shè)計(jì)

機(jī)身由六端支架支撐,低重心、高穩(wěn)定性全金屬機(jī)架,具備很好的抗震功能,確保像質(zhì)穩(wěn)定。

內(nèi)置式靈活搬運(yùn)裝置

MX12R 機(jī)身采用全金屬材質(zhì),穩(wěn)定性非常棒。在底部兩端設(shè)有內(nèi)置搬運(yùn)裝置,搬運(yùn)時(shí),用戶只需將內(nèi)置搬運(yùn)手柄旋轉(zhuǎn)擰出,反向擰進(jìn),即可形成堅(jiān)固的搬運(yùn)裝置。此裝置的設(shè)定,能夠?qū)C(jī)器重量均勻分配,只需兩人即可完成搬運(yùn),有效避免搬運(yùn)過程中,無從下手、移動困難、重量分布不均勻、發(fā)生碰撞等諸多問題。搬運(yùn)過程中,為防止儀器平臺移動而造成損壞,可將平臺鎖緊,以確保儀器的安全穩(wěn)固性。

落射照明器

孔徑光闌與物鏡倍率自動匹配,無需再手動調(diào)節(jié),更加快捷、高效,讓不同使用者都有同樣的觀察效果。

暗場模式下,光闌自動打開,減小使用者對顯微鏡的專業(yè)技術(shù)要求,讓顯微觀察簡單化。

滿足自動化的應(yīng)用需求

● 全新升級的MX12RMOT,全自動操作模式,使您的檢測工作更加高效。

●  X\Y\Z 三軸電動控制,電動型物鏡轉(zhuǎn)換,孔徑光闌自動匹配。

●  可通過軟件或者手柄控制12 英寸平臺X、Y、Z 軸的運(yùn)動,完成圖像拼接功能,完美的進(jìn)行全局圖像的觀察、分析。

● 獨(dú)立的操作手柄讓平臺移動更加簡單、方便,避免了因人員操作不當(dāng)?shù)仍蛞鸬钠脚_損壞。

豐富的應(yīng)用領(lǐng)域

MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。

豐富多樣的各項(xiàng)附件可滿足多種工作環(huán)境與觀察模式為您展現(xiàn)真實(shí)、清晰的顯微圖像

國際領(lǐng)先級大視野目鏡

● 配置25mm 寬視野目鏡,相對于常規(guī)22mm 的視場范圍,視野更加平坦、寬廣,并且視場邊緣都能保證清晰明亮,給用戶更加舒適的視覺感受。

● 提供更加平坦的觀察范圍,提高工作效率。更大值域屈光度調(diào)節(jié)范圍可滿足更多用戶的使用需求。

長工作距物鏡

● 配置全套專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡,采用高透過率鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù)。

● 長工作距設(shè)計(jì),可有效避免用戶在切換時(shí)物鏡與樣品發(fā)生碰撞。配置20X 長工作距物鏡,滿足工業(yè)檢測領(lǐng)域的需求。

● 每個(gè)鏡頭均嚴(yán)格挑選高透過率的鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù),可真實(shí)還原樣品的自然色彩。

型號

倍率

數(shù)值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相DIC物鏡

5X

0.15

13.5

-

45

10X

0.30

9.0

-

20X

0.50

2.5

0

50X

0.80

1.0

0

100X

0.90

1.0

0

型號

倍率

數(shù)值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相DIC物鏡

20X

0.40

8.5

0

45

型號

倍率

數(shù)值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)金相物鏡

50X

0.55

7.50

0

45

100X

0.80

2.1

型號

倍率

數(shù)值孔徑

工作距離

蓋玻片厚度

齊焦距離

共軛距

(N.A)

(mm)

(mm)

(mm)

(mm)

無限遠(yuǎn)明場半復(fù)消DIC物鏡

5X

0.15

19.5

-

45

10X

0.30

10.9

-

20X

0.50

3.2

0

50X

0.80

1.2

0

100X

0.90

1.0

0

諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)

● 用高性能微分干涉組件,可以將明場觀察下無法檢測的細(xì)微高低差,轉(zhuǎn)化為高對比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來,廣泛用于LCD 導(dǎo)電粒子、精密磁盤表面劃痕檢測等領(lǐng)域。

系統(tǒng)配置圖

外形尺寸圖

12寸大工作平臺半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX12R配置參數(shù)

型號

MX12R

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式

明場/ 暗場/ 偏光/DIC

觀察筒

無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,0~35°傾角可調(diào),正像, 瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比100:0 或0:100。

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃板

物鏡

無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相DIC 物鏡 5X、10X、20X、50X(選配:100X)

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相DIC 物鏡20X

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡50X 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器,帶DIC 插槽

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

反射式機(jī)架:前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V 寬電壓系統(tǒng)
 透反機(jī)架:前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V 寬電壓系統(tǒng)

載物臺

右手位14×12 英寸三層機(jī)械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ;玻璃載物臺板 ( 反射用)

電動平臺:面積495mmX641mm,移動范圍:306mmX306mm ;軟件控制X、Y 移動,重復(fù)定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺

照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器, 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌, 中心均可調(diào);帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像

0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC 微分干涉組件

選配

工業(yè)相機(jī):1000萬、1500萬、2000萬,CCD或CMOS相機(jī)

分析軟件:自開發(fā)專業(yè)測量系統(tǒng)

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